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风淋室专题 佰伦风淋室已荣获多项国家专利! |
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半导体行业净化解决方案
晶圆设备，微粒过滤和控制AMC是必须的。微粒过滤和控制AMC是高收益、低退货率的半导体产业首要担心的问题。不能很好的在洁净室或设备中控制微粒或AMC将大大的削弱企业的经营利润。洁净室的主要的问题是产品、工具、加工过程和气味控制的污染。
传统的通风形式是在车间的整个天花板上布满高效过滤器，整个地面为回风栅板。如今我公司生产的FFU 使用自带风机的过滤装置，解决了繁复的安装和性价比问题，是目前市场上一种安静、价格优良的机组，为洁净室输送高质量的循环空气。
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污染物 |
来源 |
引发问题 |
解决方案 |
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粉尘 |
空气 |
造成集成电路断路、短路，影响成品率 |
化学过滤模块+普通、高效过滤器/FFU |
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NH3，NMP |
外气 |
“T-top“现象 |
化学过滤模块 |
部分成交客户
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